Standardmäßig unterstützt jede Software mehrere Dateiendungen. XeTeX unterstützt mindestens 1 verschiedene Dateiendungen. Die von XeTeX unterstützten Basisdateien sind .XDV. Es werden jedoch nicht immer alle in der Liste aufgeführten Dateiendungen verwendet, um die Auswirkungen der Arbeit in XeTeX zu speichern. Sehr oft werden Dateien mit solchen Dateiendungen als Quelldatendateien verwendet, die von XeTeX verwendet werden.
Mit XeTeX können Dateiformate zwischen den unten aufgeführten Dateiendungen konvertiert werden. Sie können eine Datei mit einer der folgenden Dateiendungen über XeTeX öffnen und versuchen, sie in einem anderen, ebenfalls von XeTeX unterstützten Dateiformat zu speichern.